傳感器
激光微射流?配合的傳感器技術(shù)用于加工過程控制（工業(yè)4.0）
? ? ? ?SYNOVA公司開發(fā)了先進(jìn)的傳感器技術(shù)來持續(xù)改善加工工藝改進(jìn)，可以實(shí)現(xiàn)更好的LMJ?加工的過程控制并提高加工效率。 這些工業(yè)自動(dòng)化傳感器使LMJ?成為一種真正強(qiáng)大的制造技術(shù)。
? 傳感器技術(shù)
1.自動(dòng)激光功率測量
測量用于加工的實(shí)際激光功率
2.自動(dòng)射流定位傳感器
激光微水射流在機(jī)器坐標(biāo)下的
高精度定位
3.自動(dòng)激光噴嘴對(duì)準(zhǔn)
可靠和快速的對(duì)準(zhǔn)激光進(jìn)入噴嘴
4.工件自動(dòng)對(duì)齊
工件在機(jī)床坐標(biāo)系中的定位和定向
（X-Y-Z 位置和傾斜角度）
5.自動(dòng)噴射角度修正
測量噴射角度后，加工頭的電動(dòng)旋轉(zhuǎn)允許對(duì)其進(jìn)行校正
6.自動(dòng)射流穩(wěn)定控制
檢測噴嘴磨損和斷裂
7.自動(dòng)突破檢測
檢測LMJ?切割或鉆穿結(jié)束，以減少非加工時(shí)間
8.自動(dòng)觸摸探測
探頭精確的3D校準(zhǔn)工件與機(jī)器坐標(biāo)
9.自動(dòng)激光脈沖監(jiān)測
監(jiān)控激光功率和脈沖長度
10.自動(dòng)數(shù)據(jù)記錄
關(guān)鍵參數(shù)記錄，實(shí)現(xiàn)高效遠(yuǎn)程協(xié)助
? 增強(qiáng)的加工過程控制
1.氣體保護(hù)的微水射流
長距離穩(wěn)定噴水
2.薄水膜
實(shí)現(xiàn)干凈的晶圓加工，無重鑄層或灰塵
3.高功率穩(wěn)定
噴嘴保護(hù)，在加工過程中防止水和顆粒的反濺
4.噴射保護(hù)系統(tǒng)
在嚴(yán)苛的加工環(huán)境中穩(wěn)定射流
5.3D加工光頭
允許最大程度地接近3D零件和進(jìn)行遠(yuǎn)程對(duì)準(zhǔn)
6.微型耦合單元
提高微水射流的穩(wěn)定性和進(jìn)行簡單的維修
7.激光膠帶
穩(wěn)固固定要加工的晶圓(晶圓的精密劃片/切割)
8.LMJ噴嘴
實(shí)現(xiàn)具有高穩(wěn)定性的長層流
9.切割策略
用于切割低吸收材料的最佳加工策略實(shí)施，例如藍(lán)寶石
10.雙激光
使用兩套不同脈沖持續(xù)時(shí)間的激光器以實(shí)現(xiàn)切割表面很低的粗糙度水平
